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Alの陽極酸化皮膜を利用する磁性体の超高アスペクト比微細加工と磁気マイクロマシン

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Alの陽極酸化皮膜を利用する磁性体の超高アスペクト比微細加工と磁気マイクロマシン

Call No. (NDL)
Y151-H12450129
Bibliographic ID of National Diet Library
000007081810
Material type
図書
Author
山崎, 二郎, 九州工業大学
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
Al ノ ヨウキョク サンカ ヒマク オ リヨウ スル ジセイタイ ノ チョウコウアスペクトヒ ビサイ カコウ ト ジキ マイクロマシン
Author/Editor
山崎, 二郎, 九州工業大学
Author Heading
山崎, 二郎 ヤマサキ, ジロウ
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
陽極酸化 ヨウキヨクサンカ
高アスペクト比 コウアスペクトヒ
微細加工 ビサイカコウ
磁歪 ジワイ
マイクロモータ マイクロモータ
磁気マイクロマシン ジキマイクロマシン