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図書
音波の放射圧を利用した大型液晶ガラス基板非接触搬送システムの構築
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音波の放射圧を利用した大型液晶ガラス基板非接触搬送システムの構築
国立国会図書館請求記号
Y151-H12450142
国立国会図書館書誌ID
000007081816
資料種別
図書
著者
上羽, 貞行, 東京工業大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
音波の放射圧を利用した大型液晶ガラス基板非接触搬送システムの構築
タイトルよみ
オンパ ノ ホウシャアツ オ リヨウ シタ オオガタ エキショウ ガラス キバン ヒセッショク ハンソウ システム ノ コウチク
著者・編者
上羽, 貞行, 東京工業大学
著者標目
上羽, 貞行
ウエハ, サダユキ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
超音波
チヨウオンパ
浮揚
フヨウ
保持
ホジ
搬送
ハンソウ
放射圧
ホウシヤアツ
非接触
ヒセツシヨク
定在波
テイザイハ
進行波
シンコウハ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
12450142
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H12450142
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007081816
http://id.ndl.go.jp/bib/000007081816
整理区分コード
214
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