音波の放射圧を利用した大型液晶ガラス基板非接触搬送システムの構築

• Material Type: 図書
• Title: 音波の放射圧を利用した大型液晶ガラス基板非接触搬送システムの構築
• Title Transcription: オンパ ノ ホウシャアツ オ リヨウ シタ オオガタ エキショウ ガラス キバン ヒセッショク ハンソウ システム ノ コウチク
• Author/Editor: 上羽, 貞行, 東京工業大学
• Author Heading: 上羽, 貞行 ウエハ, サダユキ
• Publication Date: 2000-2001
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 超音波 チヨウオンパ; 浮揚 フヨウ; 保持 ホジ; 搬送 ハンソウ; 放射圧 ホウシヤアツ; 非接触 ヒセツシヨク; 定在波 テイザイハ; 進行波 シンコウハ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12450142
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12450142
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007081816; http://id.ndl.go.jp/bib/000007081816
• Bibliographic Record Category (NDL): 214