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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- キドルイ ゲンソ テンカ シリコン ニ ヨル セキガイ ハッコウ デバイス ノ カイハツ
- 著者・編者
- 中嶋, 堅志郎, 名古屋工業大学
- 著者標目
- 中嶋, 堅志郎 ナカシマ, ケンシロウ
- 出版年月日等
- 2000-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
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