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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- キドルイ ゲンソ テンカ シリコン ニ ヨル セキガイ ハッコウ デバイス ノ カイハツ
- Author/Editor
- 中嶋, 堅志郎, 名古屋工業大学
- Author Heading
- 中嶋, 堅志郎 ナカシマ, ケンシロウ
- Publication Date
- 2000-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)