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傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置開発

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傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H12555171
国立国会図書館書誌ID
000007082346
資料種別
図書
著者
早稲田, 嘉夫, 東北大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ケイカク ネツ ハンシャホウ ニ モトヅク Si/NiFe/AlN キノウセイ ハクマク ノ ネツテキ 3 ジゲン コウゾウ ソクテイ ソウチ カイハツ
著者・編者
早稲田, 嘉夫, 東北大学
著者標目
著者 : 早稲田, 嘉夫, 1945- ワセダ, ヨシオ, 1945- ( 00090429 )典拠
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
フエムト秒パルスレーザー フエムトビヨウパルスレーザー
YAGレーザー YAGレーザー
熱拡散率 ネツカクサンリツ
レーザーフラツシユ法 レーザーフラツシユホウ
薄膜 ハクマク