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傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置開発

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傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置開発

Call No. (NDL)
Y151-H12555171
Bibliographic ID of National Diet Library
000007082346
Material type
図書
Author
早稲田, 嘉夫, 東北大学
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ケイカク ネツ ハンシャホウ ニ モトヅク Si/NiFe/AlN キノウセイ ハクマク ノ ネツテキ 3 ジゲン コウゾウ ソクテイ ソウチ カイハツ
Author/Editor
早稲田, 嘉夫, 東北大学
Author Heading
著者 : 早稲田, 嘉夫, 1945- ワセダ, ヨシオ, 1945- ( 00090429 )Authorities
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
フエムト秒パルスレーザー フエムトビヨウパルスレーザー
YAGレーザー YAGレーザー
熱拡散率 ネツカクサンリツ
レーザーフラツシユ法 レーザーフラツシユホウ
薄膜 ハクマク