微小プラズマ材料プロセシング装置の高集積化-マイクロプラズマチツプの創製-

• 資料種別: 図書
• タイトル: 微小プラズマ材料プロセシング装置の高集積化-マイクロプラズマチツプの創製-
• タイトルよみ: ビショウ プラズマ ザイリョウ プロセシング ソウチ ノ コウシュウセキカ-マイクロプラズマチツプ ノ ソウセイ-
• 著者・編者: 寺嶋, 和夫, 東京大学
• 著者標目: 著者 ： 寺嶋, 和夫, 1959- テラシマ, カズオ, 1959- ( 00934634 )典拠
• 出版年月日等: 2000-2001
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: マイクロプラズマ マイクロプラズマ; プラズマチツプ プラズマチツプ; プラズマCVD プラズマCVD; 高集積プロセス装置 コウシユウセキプロセスソウチ; プラズマシミユレーシヨン プラズマシミユレーシヨン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12555185
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12555185
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007082351; http://id.ndl.go.jp/bib/000007082351
• 整理区分コード: 214