微小プラズマ材料プロセシング装置の高集積化-マイクロプラズマチツプの創製-

• Material Type: 図書
• Title: 微小プラズマ材料プロセシング装置の高集積化-マイクロプラズマチツプの創製-
• Title Transcription: ビショウ プラズマ ザイリョウ プロセシング ソウチ ノ コウシュウセキカ-マイクロプラズマチツプ ノ ソウセイ-
• Author/Editor: 寺嶋, 和夫, 東京大学
• Author Heading: 著者 ： 寺嶋, 和夫, 1959- テラシマ, カズオ, 1959- ( 00934634 )Authorities
• Publication Date: 2000-2001
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: マイクロプラズマ マイクロプラズマ; プラズマチツプ プラズマチツプ; プラズマCVD プラズマCVD; 高集積プロセス装置 コウシユウセキプロセスソウチ; プラズマシミユレーシヨン プラズマシミユレーシヨン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555185
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12555185
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007082351; http://id.ndl.go.jp/bib/000007082351
• Bibliographic Record Category (NDL): 214