フツ素系および塩素系特殊ガスの化学反応による無害化処理技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: フツ素系および塩素系特殊ガスの化学反応による無害化処理技術の開発
• タイトルよみ: フツソケイ オヨビ エンソケイ トクシュ ガス ノ カガク ハンノウ ニ ヨル ムガイカ ショリ ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 芝田, 隼次, 関西大学
• 著者標目: 著者 ： 芝田, 隼次 シバタ, ジュンジ ( 01201282 )典拠
• 出版年月日等: 2000-2001
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 環境保全 カンキヨウホゼン; 無害化処理 ムガイカシヨリ; 特殊材料ガス トクシユザイリヨウガス; 半導体工業 ハンドウタイコウギヨウ; 3塩化ホウ素 3エンカホウソ; 4フツ化炭素 4フツカタンソ; 金属酸化物 キンゾクサンカブツ; 金属塩化物 キンゾクエンカブツ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12555285
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12555285
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007082381; http://id.ndl.go.jp/bib/000007082381
• 整理区分コード: 214