フツ素系および塩素系特殊ガスの化学反応による無害化処理技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: フツ素系および塩素系特殊ガスの化学反応による無害化処理技術の開発
• Title Transcription: フツソケイ オヨビ エンソケイ トクシュ ガス ノ カガク ハンノウ ニ ヨル ムガイカ ショリ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 芝田, 隼次, 関西大学
• Author Heading: 著者 ： 芝田, 隼次 シバタ, ジュンジ ( 01201282 )Authorities
• Publication Date: 2000-2001
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 環境保全 カンキヨウホゼン; 無害化処理 ムガイカシヨリ; 特殊材料ガス トクシユザイリヨウガス; 半導体工業 ハンドウタイコウギヨウ; 3塩化ホウ素 3エンカホウソ; 4フツ化炭素 4フツカタンソ; 金属酸化物 キンゾクサンカブツ; 金属塩化物 キンゾクエンカブツ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555285
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12555285
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007082381; http://id.ndl.go.jp/bib/000007082381
• Bibliographic Record Category (NDL): 214