ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御
• タイトルよみ: ナノポ-ラス/ユウキ コウゾウ テイユウデンリツマク ト キンゾク デンキョク ノ カイメン セイギョ
• 著者・編者: 吉川, 公麿, 広島大学
• 著者標目: 吉川, 公麿 キッカワ, タカマロ
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 低誘電率膜 テイユウデンリツマク; 有機膜 ユウキマク; 多層配線 タソウハイセン; 集積回路 シユウセキカイロ; 銅配線 ドウハイセン; ポ-ラス ポ-ラス; 金属電極 キンゾクデンキヨク; 拡散速度 カクサンソクド
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11450126
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11450126
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007082774; http://id.ndl.go.jp/bib/000007082774
• 整理区分コード: 214