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図書

ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御

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ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御

Call No. (NDL)
Y151-H11450126
Bibliographic ID of National Diet Library
000007082774
Material type
図書
Author
吉川, 公麿, 広島大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ナノポ-ラス/ユウキ コウゾウ テイユウデンリツマク ト キンゾク デンキョク ノ カイメン セイギョ
Author/Editor
吉川, 公麿, 広島大学
Author Heading
吉川, 公麿 キッカワ, タカマロ
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
低誘電率膜 テイユウデンリツマク
有機膜 ユウキマク
多層配線 タソウハイセン
集積回路 シユウセキカイロ
銅配線 ドウハイセン
ポ-ラス ポ-ラス
金属電極 キンゾクデンキヨク
拡散速度 カクサンソクド