スパツタ・イオンプレ-テイング複合人工格子作製装置の研究開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: スパツタ・イオンプレ-テイング複合人工格子作製装置の研究開発
• タイトルよみ: スパツタ ・ イオンプレ-テイング フクゴウ ジンコウ ゴウシ サクセイ ソウチ ノ ケンキュウ カイハツ
• 著者・編者: 畑, 朋延, 金沢大学
• 著者標目: 畑, 朋延 ハタ, トモノブ
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: スパツタリング スパツタリング; 人工超格子 ジンコウチヨウコウシ; ヘテロエピタキシヤル ヘテロエピタキシヤル; フラツシユ蒸着 フラツシユジヨウチヤク; SiGe SIGE; イオンプレ-ライレグ イオンプレ-ライレグ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11555086
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11555086
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007082798; http://id.ndl.go.jp/bib/000007082798
• 整理区分コード: 214