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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- スパツタ ・ イオンプレ-テイング フクゴウ ジンコウ ゴウシ サクセイ ソウチ ノ ケンキュウ カイハツ
- Author/Editor
- 畑, 朋延, 金沢大学
- Author Heading
- 畑, 朋延 ハタ, トモノブ
- Publication Date
- 1999-2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- スパツタリング スパツタリング人工超格子 ジンコウチヨウコウシヘテロエピタキシヤル ヘテロエピタキシヤルフラツシユ蒸着 フラツシユジヨウチヤクSiGe SIGEイオンプレ-ライレグ イオンプレ-ライレグ