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スパツタ・イオンプレ-テイング複合人工格子作製装置の研究開発

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スパツタ・イオンプレ-テイング複合人工格子作製装置の研究開発

Call No. (NDL)
Y151-H11555086
Bibliographic ID of National Diet Library
000007082798
Material type
図書
Author
畑, 朋延, 金沢大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
スパツタ ・ イオンプレ-テイング フクゴウ ジンコウ ゴウシ サクセイ ソウチ ノ ケンキュウ カイハツ
Author/Editor
畑, 朋延, 金沢大学
Author Heading
畑, 朋延 ハタ, トモノブ
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
スパツタリング スパツタリング
人工超格子 ジンコウチヨウコウシ
ヘテロエピタキシヤル ヘテロエピタキシヤル
フラツシユ蒸着 フラツシユジヨウチヤク
SiGe SIGE
イオンプレ-ライレグ イオンプレ-ライレグ