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ナノスケ-ル表面改質のためのイオン照射下高温STM観察

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ナノスケ-ル表面改質のためのイオン照射下高温STM観察

国立国会図書館請求記号
Y151-H11450019
国立国会図書館書誌ID
000007083314
資料種別
図書
著者
大泊, 巌, 早稲田大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノスケ-ル ヒョウメン カイシツ ノ タメ ノ イオン ショウシャ カ コウオン STM カンサツ
著者・編者
大泊, 巌, 早稲田大学
著者標目
著者 : 大泊, 巌 オオドマリ, イワオ ( 00875965 )典拠
出版年月日等
1999-2001
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
シリコン シリコン
イオン照射 イオンシヨウシヤ
表面改質 ヒヨウメンカイシツ
走査トンネル顕微鏡 ソウサトンネルケンビキヨウ
半導体表面 ハンドウタイヒヨウメン
欠陥 ケツカン
アルゴンイオン アルゴンイオン
ナノ改質 ナノカイシツ