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ナノスケ-ル表面改質のためのイオン照射下高温STM観察

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ナノスケ-ル表面改質のためのイオン照射下高温STM観察

Call No. (NDL)
Y151-H11450019
Bibliographic ID of National Diet Library
000007083314
Material type
図書
Author
大泊, 巌, 早稲田大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ナノスケ-ル ヒョウメン カイシツ ノ タメ ノ イオン ショウシャ カ コウオン STM カンサツ
Author/Editor
大泊, 巌, 早稲田大学
Author Heading
著者 : 大泊, 巌 オオドマリ, イワオ ( 00875965 )Authorities
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
シリコン シリコン
イオン照射 イオンシヨウシヤ
表面改質 ヒヨウメンカイシツ
走査トンネル顕微鏡 ソウサトンネルケンビキヨウ
半導体表面 ハンドウタイヒヨウメン
欠陥 ケツカン
アルゴンイオン アルゴンイオン
ナノ改質 ナノカイシツ