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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウミツド VHF プラズマ ニ ヨル ハクマク タイセキ ト シツリョウ ブンセキ 、 ハッコウ ジクウ ブンコウ 、 セキガイ ブンコウ 、 ドウジ シンダン
- 著者・編者
- 伊藤, 秀範, 室蘭工業大学
- 著者標目
- 伊藤, 秀範 イトウ, ヒデノリ
- 出版年月日等
- 1999-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)