高密度VHFプラズマによる薄膜堆積と質量分析、発光時空分光、赤外分光、同時診断

• Material Type: 図書
• Title: 高密度VHFプラズマによる薄膜堆積と質量分析、発光時空分光、赤外分光、同時診断
• Title Transcription: コウミツド VHF プラズマ ニ ヨル ハクマク タイセキ ト シツリョウ ブンセキ 、 ハッコウ ジクウ ブンコウ 、 セキガイ ブンコウ 、 ドウジ シンダン
• Author/Editor: 伊藤, 秀範, 室蘭工業大学
• Author Heading: 伊藤, 秀範 イトウ, ヒデノリ
• Publication Date: 1999-2001
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 高密度プラズマ コウミツドプラズマ; 発光分光 ハツコウブンコウ; 質量分析 シツリヨウブンセキ; FT-IR FT-IR; 有機シリコン ユウキシリコン; プラズマリアクタ プラズマリアクタ; 薄膜堆積 ハクマクタイセキ; プラズマCVD プラズマCVD
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11450116
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11450116
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007083322; http://id.ndl.go.jp/bib/000007083322
• Bibliographic Record Category (NDL): 214