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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ヘンチョウ ソウサ オ モチイタ ヒテイジョウ ジョウタイ ノ セッキョク リヨウ ニ ヨル ULSI セキソウ ハイセン サクセイ プロセス ノ コウドカ
- 著者・編者
- 霜垣, 幸浩, 東京大学
- 著者標目
- 霜垣, 幸浩 シモガキ, ユキヒロ
- 出版年月日等
- 1999-2000
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)