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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ヘンチョウ ソウサ オ モチイタ ヒテイジョウ ジョウタイ ノ セッキョク リヨウ ニ ヨル ULSI セキソウ ハイセン サクセイ プロセス ノ コウドカ
- Author/Editor
- 霜垣, 幸浩, 東京大学
- Author Heading
- 霜垣, 幸浩 シモガキ, ユキヒロ
- Publication Date
- 1999-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)