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軽元素イオン注入によるセラミツクコ-テイングの自己潤滑設計

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軽元素イオン注入によるセラミツクコ-テイングの自己潤滑設計

国立国会図書館請求記号
Y151-H12305047
国立国会図書館書誌ID
000007084101
資料種別
図書
著者
相澤, 龍彦, 東京大学
出版者
-
出版年
2000-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ケイゲンソ イオン チュウニュウ ニ ヨル セラミツクコ-テイング ノ ジコ ジュンカツ セッケイ
著者・編者
相澤, 龍彦, 東京大学
著者標目
相澤, 龍彦 アイサワ, タツヒコ
出版年月日等
2000-2002
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
イオン注入 イオンチユウニユウ
軽元素注入 ケイゲンソチユウニユウ
塩素注入 エンソチユウニユウ
TiN TIN
Al注入 ALチユウニユウ
イオンビ-ムスパツタ- イオンビ-ムスパツタ-
自己潤滑性 ジコジユンカツセイ
自己保護性 ジコホゴセイ