軽元素イオン注入によるセラミツクコ-テイングの自己潤滑設計

• Material Type: 図書
• Title: 軽元素イオン注入によるセラミツクコ-テイングの自己潤滑設計
• Title Transcription: ケイゲンソ イオン チュウニュウ ニ ヨル セラミツクコ-テイング ノ ジコ ジュンカツ セッケイ
• Author/Editor: 相澤, 龍彦, 東京大学
• Author Heading: 相澤, 龍彦 アイサワ, タツヒコ
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: イオン注入 イオンチユウニユウ; 軽元素注入 ケイゲンソチユウニユウ; 塩素注入 エンソチユウニユウ; TiN TIN; Al注入 ALチユウニユウ; イオンビ-ムスパツタ- イオンビ-ムスパツタ-; 自己潤滑性 ジコジユンカツセイ; 自己保護性 ジコホゴセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12305047
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12305047
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007084101; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084101
• Bibliographic Record Category (NDL): 214