薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプロ-ブへの応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプロ-ブへの応用
• タイトルよみ: ハクマク キンゾク ガラス ビサイリョウ ノ サンジゲン ビサイ セイケイ ト マイクロプロ-ブ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 下河辺, 明, 東京工業大学
• 著者標目: 下河辺, 明 シモカワベ, アキラ
• 出版年月日等: 2000-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: MEMS MEMS; 微細加工 ビサイカコウ; 薄膜 ハクマク; アモルフアス アモルフアス; 金属ガラス キンゾクガラス; プロ-ブ プロ-ブ; 抵抗率 テイコウリツ; 物性 ブツセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12355007
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12355007
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007084177; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084177
• 整理区分コード: 214