薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプロ-ブへの応用

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Material Type: 図書
Title: 薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプロ-ブへの応用
Title Transcription: ハクマクキンゾクガラスビサイリョウノサンジゲンビサイセイケイトマイクロプロ-ブヘノオウヨウ
Author/Editor: 下河辺, 明, 東京工業大学
Author Heading: 下河辺, 明シモカワベ, アキラ
Publication Date: 2000-2002
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: MEMS MEMS
微細加工ビサイカコウ
薄膜ハクマク
アモルフアスアモルフアス
金属ガラスキンゾクガラス
プロ-ブプロ-ブ
抵抗率テイコウリツ
物性ブツセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12355007
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12355007
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007084177
http://id.ndl.go.jp/bib/000007084177
Bibliographic Record Category (NDL): 214