薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプロ-ブへの応用

• Material Type: 図書
• Title: 薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプロ-ブへの応用
• Title Transcription: ハクマク キンゾク ガラス ビサイリョウ ノ サンジゲン ビサイ セイケイ ト マイクロプロ-ブ ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 下河辺, 明, 東京工業大学
• Author Heading: 下河辺, 明 シモカワベ, アキラ
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: MEMS MEMS; 微細加工 ビサイカコウ; 薄膜 ハクマク; アモルフアス アモルフアス; 金属ガラス キンゾクガラス; プロ-ブ プロ-ブ; 抵抗率 テイコウリツ; 物性 ブツセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12355007
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12355007
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007084177; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084177
• Bibliographic Record Category (NDL): 214