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図書
過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による擬似単結晶シリコン形成技術の研究
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過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による擬似単結晶シリコン形成技術の研究
国立国会図書館請求記号
Y151-H12450015
国立国会図書館書誌ID
000007084453
資料種別
図書
著者
宮尾, 正信, 九州大学
出版者
-
出版年
2000-2002
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による擬似単結晶シリコン形成技術の研究
タイトルよみ
カジョウ クウコウ ノ ドウニュウ オヨビ ソノ カンワ カテイ セイギョ ニ ヨル ギジタンケッショウ シリコン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
著者・編者
宮尾, 正信, 九州大学
著者標目
宮尾, 正信
ミヤオ, マサノブ
出版年月日等
2000-2002
出版年(W3CDTF)
2000
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
シリコン
シリコン
イオン線
イオンセン
固相成長
コソウセイチヨウ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
12450015
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H12450015
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007084453
http://id.ndl.go.jp/bib/000007084453
整理区分コード
214
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