過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による擬似単結晶シリコン形成技術の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による擬似単結晶シリコン形成技術の研究
• タイトルよみ: カジョウ クウコウ ノ ドウニュウ オヨビ ソノ カンワ カテイ セイギョ ニ ヨル ギジタンケッショウ シリコン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 宮尾, 正信, 九州大学
• 著者標目: 宮尾, 正信 ミヤオ, マサノブ
• 出版年月日等: 2000-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: シリコン シリコン; イオン線 イオンセン; 固相成長 コソウセイチヨウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12450015
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12450015
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007084453; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084453
• 整理区分コード: 214