過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による擬似単結晶シリコン形成技術の研究

• Material Type: 図書
• Title: 過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による擬似単結晶シリコン形成技術の研究
• Title Transcription: カジョウ クウコウ ノ ドウニュウ オヨビ ソノ カンワ カテイ セイギョ ニ ヨル ギジタンケッショウ シリコン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 宮尾, 正信, 九州大学
• Author Heading: 宮尾, 正信 ミヤオ, マサノブ
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: シリコン シリコン; イオン線 イオンセン; 固相成長 コソウセイチヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12450015
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12450015
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007084453; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084453
• Bibliographic Record Category (NDL): 214