次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: 次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御
• タイトルよみ: ジセダイ MOSFET ゲ-トヨウ コウユウデンリツ ザイリョウ ノ ケイトウテキ タンサク ト ブッセイ セイギョ
• 著者・編者: 徳光, 永輔, 東北大学
• 著者標目: 徳光, 永輔 トクミツ, エイスケ
• 出版年月日等: 2000-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 高誘電率材料 コウユウデンリツザイリヨウ; ゲ-ト絶縁膜 ゲ-トゼツエンマク; MOSFET MOSFET; ゾルゲル法 ゾルゲルホウ; 分子線蒸着法 ブンシセンジヨウチヤクホウ; HfO_2 HFO_2; La_2O_3 LA_2O_3
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12450121
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12450121
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007084505; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084505
• 整理区分コード: 214