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次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御

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次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御

国立国会図書館請求記号
Y151-H12450121
国立国会図書館書誌ID
000007084505
資料種別
図書
著者
徳光, 永輔, 東北大学
出版者
-
出版年
2000-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ジセダイ MOSFET ゲ-トヨウ コウユウデンリツ ザイリョウ ノ ケイトウテキ タンサク ト ブッセイ セイギョ
著者・編者
徳光, 永輔, 東北大学
著者標目
徳光, 永輔 トクミツ, エイスケ
出版年月日等
2000-2002
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
高誘電率材料 コウユウデンリツザイリヨウ
ゲ-ト絶縁膜 ゲ-トゼツエンマク
MOSFET MOSFET
ゾルゲル法 ゾルゲルホウ
分子線蒸着法 ブンシセンジヨウチヤクホウ
HfO_2 HFO_2
La_2O_3 LA_2O_3