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次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御

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次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御

Call No. (NDL)
Y151-H12450121
Bibliographic ID of National Diet Library
000007084505
Material type
図書
Author
徳光, 永輔, 東北大学
Publisher
-
Publication date
2000-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ジセダイ MOSFET ゲ-トヨウ コウユウデンリツ ザイリョウ ノ ケイトウテキ タンサク ト ブッセイ セイギョ
Author/Editor
徳光, 永輔, 東北大学
Author Heading
徳光, 永輔 トクミツ, エイスケ
Publication Date
2000-2002
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
高誘電率材料 コウユウデンリツザイリヨウ
ゲ-ト絶縁膜 ゲ-トゼツエンマク
MOSFET MOSFET
ゾルゲル法 ゾルゲルホウ
分子線蒸着法 ブンシセンジヨウチヤクホウ
HfO_2 HFO_2
La_2O_3 LA_2O_3