次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御

• Material Type: 図書
• Title: 次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御
• Title Transcription: ジセダイ MOSFET ゲ-トヨウ コウユウデンリツ ザイリョウ ノ ケイトウテキ タンサク ト ブッセイ セイギョ
• Author/Editor: 徳光, 永輔, 東北大学
• Author Heading: 徳光, 永輔 トクミツ, エイスケ
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 高誘電率材料 コウユウデンリツザイリヨウ; ゲ-ト絶縁膜 ゲ-トゼツエンマク; MOSFET MOSFET; ゾルゲル法 ゾルゲルホウ; 分子線蒸着法 ブンシセンジヨウチヤクホウ; HfO_2 HFO_2; La_2O_3 LA_2O_3
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12450121
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12450121
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007084505; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084505
• Bibliographic Record Category (NDL): 214