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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- エキタイ ゲンリョウ キカ CVD ホウ ニ ヨル ユウデンタイ ハクマク ノ セイゾウ ト プロセスシミユレ-タ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 奥山, 喜久夫, 広島大学
- 著者標目
- 著者 ： 奥山, 喜久夫, 1948- オクヤマ, キクオ, 1948- ( 00220339 )典拠
- 出版年月日等
- 2000-2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)