液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミユレ-タの開発

• Material Type: 図書
• Title: 液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミユレ-タの開発
• Title Transcription: エキタイ ゲンリョウ キカ CVD ホウ ニ ヨル ユウデンタイ ハクマク ノ セイゾウ ト プロセスシミユレ-タ ノ カイハツ
• Author/Editor: 奥山, 喜久夫, 広島大学
• Author Heading: 著者 ： 奥山, 喜久夫, 1948- オクヤマ, キクオ, 1948- ( 00220339 )Authorities
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: CVD法 CVDホウ; 高誘電体材料 コウユウデンタイザイリヨウ; 薄膜 ハクマク; 液体気化法 エキタイキカホウ; 気相反応 キソウハンノウ; グレイン グレイン; 有機金属 ユウキキンゾク; 輸送現象 ユソウゲンシヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12450319
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12450319
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007084587; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084587
• Bibliographic Record Category (NDL): 214