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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- カイメン ソセイ ヘンチョウソウ オ モチイタ サブ 0.1mm セダイ ULSI ヨウ テイテイコウ コンタクト コウゾウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 安田, 幸夫, 名古屋大学
- 著者標目
- 著者 ： 安田, 幸夫, 1940- ヤスダ, ユキオ, 1940- ( 00950833 )典拠
- 出版年月日等
- 2000-2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 超低抵抗コンタクト チヨウテイテイコウコンタクト界面組成変調層 カイメンソセイヘンチヨウソウシリコンゲルマニウム シリコンゲルマニウムニツケル ニツケルチタン チタンジヤ-マノシリサイド ジヤ-マノシリサイド