界面組成変調層を用いたサブ0.1μm世代ULSI用低抵抗コンタクト構造の研究

• Material Type: 図書
• Title: 界面組成変調層を用いたサブ0.1μm世代ULSI用低抵抗コンタクト構造の研究
• Title Transcription: カイメン ソセイ ヘンチョウソウ オ モチイタ サブ 0.1mm セダイ ULSI ヨウ テイテイコウ コンタクト コウゾウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 安田, 幸夫, 名古屋大学
• Author Heading: 安田, 幸夫 ヤスダ, ユキオ
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 超低抵抗コンタクト チヨウテイテイコウコンタクト; 界面組成変調層 カイメンソセイヘンチヨウソウ; シリコンゲルマニウム シリコンゲルマニウム; ニツケル ニツケル; チタン チタン; ジヤ-マノシリサイド ジヤ-マノシリサイド
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555005
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12555005
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007085135; http://id.ndl.go.jp/bib/000007085135
• Bibliographic Record Category (NDL): 214