次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発
• タイトルよみ: ジセダイ 400mm シリコンウエハ ヘイタンド ノ ジリツテキ チョウセイミツ ソクテイ システム ノ カイハツ
• 著者・編者: 高, 偉 (Gao, Wei) , 東北大学
• 著者標目: 著者 ： 高, 偉 コウ, イ ( 01126349 )典拠; 東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )典拠
• 出版年月日等: 2000-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 測定 ソクテイ; シリコンウエハ シリコンウエハ; 平坦度 ヘイタンド; 角度センサ カクドセンサ; 校正 コウセイ; 形状 ケイジヨウ; 光センサ ヒカリセンサ; 測定時間 ソクテイジカン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12555032
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12555032
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007085146; http://id.ndl.go.jp/bib/000007085146
• 整理区分コード: 214