次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発

• Material Type: 図書
• Title: 次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発
• Title Transcription: ジセダイ 400mm シリコンウエハ ヘイタンド ノ ジリツテキ チョウセイミツ ソクテイ システム ノ カイハツ
• Author/Editor: 高, 偉 (Gao, Wei) , 東北大学
• Author Heading: 著者 ： 高, 偉 コウ, イ ( 01126349 )Authorities; 東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )Authorities
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 測定 ソクテイ; シリコンウエハ シリコンウエハ; 平坦度 ヘイタンド; 角度センサ カクドセンサ; 校正 コウセイ; 形状 ケイジヨウ; 光センサ ヒカリセンサ; 測定時間 ソクテイジカン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555032
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12555032
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007085146; http://id.ndl.go.jp/bib/000007085146
• Bibliographic Record Category (NDL): 214