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薄いSOI活性層の熱安定化構造の開発

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薄いSOI活性層の熱安定化構造の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H12555087
国立国会図書館書誌ID
000007085174
資料種別
図書
著者
田部, 道晴, 静岡大学
出版者
-
出版年
2000-2002
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
薄いSOI活性層の熱安定化構造の開発
タイトルよみ
ウスイ SOI カッセイソウ ノ ネツ アンテイカ コウゾウ ノ カイハツ
著者・編者
田部, 道晴, 静岡大学
著者標目
田部, 道晴 タベ, ミチハル
出版年月日等
2000-2002
出版年（W3CDTF）
2000
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
SOI SOI
熱凝集 ネツギヨウシユウ
シリコン シリコン
アイランド化 アイランドカ
自己配列 ジコハイレツ
MOSFET MOSFET