薄いSOI活性層の熱安定化構造の開発

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Material Type: 図書
Title: 薄いSOI活性層の熱安定化構造の開発
Title Transcription: ウスイ SOI カッセイソウノネツアンテイカコウゾウノカイハツ
Author/Editor: 田部, 道晴, 静岡大学
Author Heading: 田部, 道晴タベ, ミチハル
Publication Date: 2000-2002
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: SOI SOI
熱凝集ネツギヨウシユウ
シリコンシリコン
アイランド化アイランドカ
自己配列ジコハイレツ
MOSFET MOSFET
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555087
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12555087
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007085174
http://id.ndl.go.jp/bib/000007085174
Bibliographic Record Category (NDL): 214