シングルイオン注入法による半導体電気的特性ゆらぎ抑制に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: シングルイオン注入法による半導体電気的特性ゆらぎ抑制に関する研究
• タイトルよみ: シングルイオン チュウニュウホウ ニ ヨル ハンドウタイ デンキテキ トクセイユラギ ヨクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 大泊, 巌, 早稲田大学
• 著者標目: 著者 ： 大泊, 巌 オオドマリ, イワオ ( 00875965 )典拠
• 出版年月日等: 2000-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: シングルイオン注入法 シングルイオンチユウニユウホウ; 集束イオンビ-ム シユウソクイオンビ-ム; 液体金属イオン源 エキタイキンゾクイオンゲン; 不純物ゆらぎ フジユンブツユラギ; 同時ド-ピング ドウジド-ピング; ELTRAN ELTRAN; ド-パント原子配列 ド-パントゲンシハイレツ; 極微半導体 キヨクビハンドウタイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12555092
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12555092
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007085176; http://id.ndl.go.jp/bib/000007085176
• 整理区分コード: 214