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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シリコン キバン ジョウ ノ カゴウブツ ハンドウタイ テイオン ヘテロエピタキシ-セイチョウ
- 著者・編者
- 大山, 昌憲, 東京工業高等専門学校
- 著者標目
- 大山, 昌憲 オオヤマ, マサノリ
- 出版年月日等
- 2000-2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
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