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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ヒカリ/ナノプロ-ブ トウゴウカ リソグラフイ
- 著者・編者
- 杉村, 博之, 名古屋大学
- 著者標目
- 杉村, 博之 スギムラ, ヒロユキ
- 出版年月日等
- 2000-2002
- 出版年(W3CDTF)
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 自己組織化単分子膜 ジコソシキカタンブンシマク有機シラン ユウキシラン光リソグラフイ ヒカリリソグラフイ走査型プロ-ブ顕微鏡 ソウサガタプロ-ブケンビキヨウ