光/ナノプロ-ブ統合化リソグラフイ

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Material Type: 図書
Title: 光/ナノプロ-ブ統合化リソグラフイ
Title Transcription: ヒカリ/ナノプロ-ブトウゴウカリソグラフイ
Author/Editor: 杉村, 博之, 名古屋大学
Author Heading: 杉村, 博之スギムラ, ヒロユキ
Publication Date: 2000-2002
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 自己組織化単分子膜ジコソシキカタンブンシマク
有機シランユウキシラン
光リソグラフイヒカリリソグラフイ
走査型プロ-ブ顕微鏡ソウサガタプロ-ブケンビキヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555197
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12555197
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007085228
http://id.ndl.go.jp/bib/000007085228
Bibliographic Record Category (NDL): 214