レ-ザ-デトネ-シヨン誘起ブロ-ドアトムビ-ムによる低損傷低温極表面改質法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: レ-ザ-デトネ-シヨン誘起ブロ-ドアトムビ-ムによる低損傷低温極表面改質法の開発
• タイトルよみ: レ-ザ-デトネ-シヨン ユウキ ブロ-ドアトムビ-ム ニ ヨル テイソンショウ テイオンキョク ヒョウメン カイシツホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 大前, 伸夫, 神戸大学
• 著者標目: 大前, 伸夫 オオマエ, ノブオ
• 出版年月日等: 2000-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 原子状酸素 ゲンシジヨウサンソ; シリコン シリコン; 表面改質 ヒヨウメンカイシツ; シリコン酸化膜 シリコンサンカマク; 原子ビ-ム ゲンシビ-ム
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12555200
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12555200
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007085231; http://id.ndl.go.jp/bib/000007085231
• 整理区分コード: 214