レ-ザ-デトネ-シヨン誘起ブロ-ドアトムビ-ムによる低損傷低温極表面改質法の開発

• Material Type: 図書
• Title: レ-ザ-デトネ-シヨン誘起ブロ-ドアトムビ-ムによる低損傷低温極表面改質法の開発
• Title Transcription: レ-ザ-デトネ-シヨン ユウキ ブロ-ドアトムビ-ム ニ ヨル テイソンショウ テイオンキョク ヒョウメン カイシツホウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 大前, 伸夫, 神戸大学
• Author Heading: 大前, 伸夫 オオマエ, ノブオ
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 原子状酸素 ゲンシジヨウサンソ; シリコン シリコン; 表面改質 ヒヨウメンカイシツ; シリコン酸化膜 シリコンサンカマク; 原子ビ-ム ゲンシビ-ム
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12555200
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12555200
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007085231; http://id.ndl.go.jp/bib/000007085231
• Bibliographic Record Category (NDL): 214