フイ-ルド酸化膜上での銅配線に対する極薄・低抵抗バリヤの基礎的検討

• 資料種別: 図書
• タイトル: フイ-ルド酸化膜上での銅配線に対する極薄・低抵抗バリヤの基礎的検討
• タイトルよみ: フイ-ルド サンカマク ジョウ デ ノ ドウ ハイセン ニ タイスル ゴクウス ・ テイテイコウ バリヤ ノ キソテキ ケントウ
• 著者・編者: 野矢, 厚, 北見工業大学
• 著者標目: 野矢, 厚 ノヤ, アツシ
• 出版年月日等: 2000-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 集積回路 シユウセキカイロ; 配線 ハイセン; フイ-ルド酸化膜 フイ-ルドサンカマク; Cu CU; SiO_2 SIO_2; VN VN; バリヤ バリヤ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12650299
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12650299
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007086195; http://id.ndl.go.jp/bib/000007086195
• 整理区分コード: 214