フイ-ルド酸化膜上での銅配線に対する極薄・低抵抗バリヤの基礎的検討

• Material Type: 図書
• Title: フイ-ルド酸化膜上での銅配線に対する極薄・低抵抗バリヤの基礎的検討
• Title Transcription: フイ-ルド サンカマク ジョウ デ ノ ドウ ハイセン ニ タイスル ゴクウス ・ テイテイコウ バリヤ ノ キソテキ ケントウ
• Author/Editor: 野矢, 厚, 北見工業大学
• Author Heading: 野矢, 厚 ノヤ, アツシ
• Publication Date: 2000-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 集積回路 シユウセキカイロ; 配線 ハイセン; フイ-ルド酸化膜 フイ-ルドサンカマク; Cu CU; SiO_2 SIO_2; VN VN; バリヤ バリヤ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650299
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12650299
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007086195; http://id.ndl.go.jp/bib/000007086195
• Bibliographic Record Category (NDL): 214