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ポリアミツク酸とSiOガスを出発原料とする超肉薄SiCの創製と形状・特性制御

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ポリアミツク酸とSiOガスを出発原料とする超肉薄SiCの創製と形状・特性制御

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650672
国立国会図書館書誌ID
000007086295
資料種別
図書
著者
内山, 休男, 長崎大学
出版者
-
出版年
2000-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ポリアミツクサン ト SiO ガス オ シュッパツ ゲンリョウ ト スル チョウニクハク SiC ノ ソウセイ ト ケイジョウ ・ トクセイ セイギョ
著者・編者
内山, 休男, 長崎大学
著者標目
内山, 休男 ウチヤマ, ヤスオ
出版年月日等
2000-2002
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
ポリアミツク酸 ポリアミツクサン
SiOガス SIOガス
シリコンカ-バイド シリコンカ-バイド
気相合成 キソウゴウセイ
形状制御 ケイジヨウセイギヨ
特性制御 トクセイセイギヨ