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ポリアミツク酸とSiOガスを出発原料とする超肉薄SiCの創製と形状・特性制御

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ポリアミツク酸とSiOガスを出発原料とする超肉薄SiCの創製と形状・特性制御

Call No. (NDL)
Y151-H12650672
Bibliographic ID of National Diet Library
000007086295
Material type
図書
Author
内山, 休男, 長崎大学
Publisher
-
Publication date
2000-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ポリアミツクサン ト SiO ガス オ シュッパツ ゲンリョウ ト スル チョウニクハク SiC ノ ソウセイ ト ケイジョウ ・ トクセイ セイギョ
Author/Editor
内山, 休男, 長崎大学
Author Heading
内山, 休男 ウチヤマ, ヤスオ
Publication Date
2000-2002
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
ポリアミツク酸 ポリアミツクサン
SiOガス SIOガス
シリコンカ-バイド シリコンカ-バイド
気相合成 キソウゴウセイ
形状制御 ケイジヨウセイギヨ
特性制御 トクセイセイギヨ