4族半導体の極薄酸化膜の界面評価に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 4族半導体の極薄酸化膜の界面評価に関する研究
• タイトルよみ: 4 ゾク ハンドウタイ ノ ゴクウス サンカマク ノ カイメン ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 吉田, 貞史, 埼玉大学
• 著者標目: 著者 ： 吉田, 貞史 ヨシダ, サダフミ ( 00200038 )典拠
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: IV族半導体 IVゾクハンドウタイ; 炭化珪素 (SiC) タンカケイソ (SIC); 酸化膜 サンカマク; 界面 カイメン; 分光エリプソメトリ ブンコウエリプソメトリ; X線光電子分光 Xセンコウデンシブンコウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13450120
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13450120
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007087578; http://id.ndl.go.jp/bib/000007087578
• 整理区分コード: 214