4族半導体の極薄酸化膜の界面評価に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 4族半導体の極薄酸化膜の界面評価に関する研究
Title Transcription: 4 ゾクハンドウタイノゴクウスサンカマクノカイメンヒョウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 吉田, 貞史, 埼玉大学
Author Heading: 著者：吉田, 貞史ヨシダ, サダフミ ( 00200038 )Authorities
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: IV族半導体 IVゾクハンドウタイ
炭化珪素 (SiC) タンカケイソ (SIC)
酸化膜サンカマク
界面カイメン
分光エリプソメトリブンコウエリプソメトリ
X線光電子分光 Xセンコウデンシブンコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450120
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13450120
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007087578
http://id.ndl.go.jp/bib/000007087578
Bibliographic Record Category (NDL): 214