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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- F2 レ-ザ-リソグラフイ-ヨウ コヒ-レント VUV コウゲン ノ カイハツ
- 著者・編者
- 渡部, 俊太郎, 東京大学
- 著者標目
- 渡部, 俊太郎 ワタナベ, シユンタロウ
- 出版年月日等
- 2001-2002
- 出版年(W3CDTF)
- 2001
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- リソグラフイ- リソグラフイ-F_2レ-ザ- F_2レ-ザ-チタンサフアイアレ-ザ- チタンサフアイアレ-ザ-2光子共鳴4光波混合 2コウシキヨウメイ4コウハコンゴウ157nm光源 157NMコウゲンKBBF KBBF